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日媒：中芯1.2亿美元下单最先进EUV光刻机，相当于去年利润
关键字: 中芯国际荷兰ASMLEUV光刻机中美贸易争端中兴事件【文/观察者网 尹哲】据《日经亚洲评论》（Nikkei Asian Review）15日援引消息人士的话称，中国芯片加工企业中芯国际（SMIC）向全球最大的芯片设备制造商——荷兰ASML订购了首台最先进的EUV（极紫外线）光刻机，价值1.2亿美元。目前，业内已达成共识，必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm，甚至5nm时代。今天，中芯国际方面对观察者网表示，对此事不做评论。
消息称，这台几乎相当于中芯国际去年全部净利润的设备，将于2019年前交付。
ASML发言人对《日经亚洲评论》表示，该企业对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁。而且，向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》（the Wassenaar Arrangement）（下称：《协定》）。
半导体行业专家莫大康对此分析称，“1.2亿美元加上配套是个大投资，是为研发作好准备。在到货之前，尚不能说ok，因为设备出口许可证，ASML说了不算，还要听美国的”。
中芯国际员工在上海晶圆厂
据消息人士透露，作为内地规模最大、技术最先进的芯片制造企业，中芯国际是在美国4月份对中兴通讯制裁后下达的订单。
他还表示，中芯国际在采购此价格不菲的设备上，获得了来自中国政府方面的资金支持。
观察者网注意到，对比这台EUV光刻机的价值，中芯国际去年净利润仅为1.264亿美元。
TWINSCAN NXE:3400B EUV光刻机。截图自ASML官网
ASML是世界上唯一一个能够制造EUV光刻机的厂商，并且产量极低。其全部产能早在生产之前就被预订一空。
在中美贸易争端之际，中芯国际向ASML下订单，将不仅使中国企业缩小与芯片市场领导者的代差，同时也能保证对华关键设备的供应。
值得注意的是，ASML在4月中旬举行的财报会议上公开称，今年计划有20台EUV光刻机交付，但并没有说明订单详情。
不过，ASML客户包括英特尔、三星和台积电等国际芯片巨头，EUV光刻机也将确保上述企业保持在芯片领域的领先优势。
根据《日经亚洲评论》提供的数据，今年，台积电已经向ASML订购接近10台EUV光刻机，三星约为6台，英特尔为3台。
另外，该报道作者还认为，虽然中芯国际的技术落后三星、台积电两到三代，并且现在还在28nm和14nm制程上挣扎，但是中芯国际购买其第一台EUV光刻机的举动，凸显了其提升中国自主半导体制造的决心。
事实上，EUV光刻机作为现今最先进的芯片制造设备，是唯一能够生产7nm以下制程，因此，其也被称为“突破摩尔定律的救星”。
从2019年半导体芯片将进入7nm时代开始（现在处于10nm时代），EUV光刻机可以被称为战略性设备，没有就会使芯片制造寸步难行。
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- 责任编辑:尹哲
- 最后更新: 2025-08-05 17:53:40
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